CFD

Pompe di reintegro ad alta precisione

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Caratteristica del CFD

Questa pompa per erogazione di reagenti chimici (CFD) è progettata per la gestione di soluzioni chimiche per wafer di elevata purezza. Prodotti chimici ad elevata tensione di vapore come ammoniaca e perossido di idrogeno possono essere dosati senza problemi.

L’uso di materiale fluoroplastico garantisce un elevato grado di purezza e una resistenza agli agenti chimici superiore. La possibilità di regolare la lunghezza della corsa e la frequenza del colpo consente una vasta gamma di applicazioni. L’accumulo di particelle è evitato dalle connessioni in PFA.

Specifiche (50 Hz)

Portata Max.:	8 ml/corsa
Pressione Max.:	0,5 bar
Frequenza massima di corsa:	30 colpi/min
Materiali principali:	PTFE / PFA
Range di temperatura:	da 20 a 60°C

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