Pompe per Semiconduttori

Anche in questo settore le pompe Iwaki sono apprezzate ed utilizzate in tutto il mondo. La gamma comprende pompe a soffietto, smorzatore di pulsazioni e pompe dosatrici. Questa gamma di pompe è nata per applicazioni tipiche dell’industria dei semiconduttori quali: processo dei wafer di silicio, dosaggio dei reagenti e microincisione.

Pompe per Semiconduttori Caratteristicas

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Serie Portata max. Pressione max. (bar) Frequenza massima di corsa (colpi/min)
FS
FS
100 l/min 5 240
FW/-H
FW/-H
80 l/min 4.5 120
FA
FA
40 l/min 4.5 150
CFD
CFD
240 ml/min 0.5 30
  • Categoria:
  • Capacità di portata l/min (50Hz)